本发明涉及材料测试仪器领域，更确切地说涉及高真空下进行扫描探针显微和多探针原位输运测量装置。本发明的内容是提供一种将高灵敏度扫描隧道显微镜和多探针电学输运测量有机结合起来的设计方案；并构建一种类似的测量装置，此装置可以用于对样品进行高灵...

本发明涉及材料测试仪器领域，更确切地说涉及在原子尺度和介观尺度下对材料观察，测量和控制以及类似装置。本发明的内容是提供一种将扫描透射电子显微镜和扫描探针显微镜的功能结合起来的全新设计方案；并构建一种全压电陶瓷控制的三维空间精确定位装置，...