本发明涉及一种用于对表面纹理化的单晶硅晶片(1)上的角锥(2)进行光学测量的方法，其中通过使用至少一个光源(4)和至少一个光接收器(5)，在角锥上弯曲的光(7)被接收用于确定角锥的几何特征。无论根据后者或此外除后者之外，在向前方向上散射...

为了甚至在困难的几何和光照条件下，使用于使用至少一个光源和至少一个光接收器借助光线以光学地测量在实质上散射的物体与实质上镜面反射的物体之间的距离的方法中的可靠的距离测量成为可能，所述光线包含所述散射物体的至少一个区域以及所述镜面反射物体...