本发明提供一种改善探针卡薄膜电阻均匀性的制备方法，包括以下步骤：步骤10，对陶瓷基板的顶面进行预处理；步骤20，在陶瓷基板的顶面涂敷聚酰亚胺，形成聚酰亚胺层；步骤30，在聚酰亚胺层的顶面涂敷光刻胶，形成光刻胶层，并进行曝光和显影，形成电...

本发明提供一种探针卡中陶瓷片的制备方法，包括：步骤10，在陶瓷基板上形成若干间隔布设的第一金属层；步骤20，在所有第一金属层和未被覆盖的陶瓷基板的上表面形成感光性的聚酰亚胺层；步骤30，将掩模板覆盖在聚酰亚胺层上，利用光刻机进行曝光，利...

本发明提供一种探针卡的空间转换器中互连线通孔的制备方法，包括以下步骤：步骤10，在形成的金属薄膜层的上层涂敷感光性聚酰亚胺，形成绝缘层；步骤20，将掩模板覆盖在绝缘层上，利用光刻机进行曝光，利用显影设备进行显影，形成互连线通孔。本发明提...

本发明提供一种减少光刻胶残留的探针卡制备方法，包括以下步骤：步骤10，刻蚀内层电路图形对应的绝缘层后，在硅板和绝缘层上涂敷光刻胶，形成光刻胶层；进行曝光和显影，形成外层电路图形；步骤20，刻蚀外层电路图形对应的绝缘层，刻蚀厚度小于绝缘层...