本发明提供一种OPC修正方法。该OPC修正方法包括：获取原始版图和原始光学模型，原始版图包括特殊图形；对原始版图中的图形数据和背景数据进行取反操作获得反相版图，对原始光学模型中的图形数据和背景数据进行取反操作获得反相光学模型；基于反相光...