一种回收溅射靶材的方法，包括：提供溅射靶材，所述溅射靶材包括固定在一起的溅射面板和背板，所述溅射面板的拉应力和所述背板的拉应力均大于所述溅射面板和所述背板之间的啮合力；支撑所述背板，且对所述背板上与所述溅射面板的边缘位置对应的位置施加朝...

一种存储液体的装置及方法、转移液体的装置及方法，所述液体具有腐蚀性且易与空气中的成分发生反应，所述存储液体的装置包括：密封的罐体、输料管和输气管；输料管包括进料口和出料口，出料口位于罐体内，进料口位于罐体外，在进料口和罐体之间的输料管上...