本申请公开了一种水平式外延炉，包括气体输送单元和外延生长单元，还包括设置在气体输送单元内的至少一气体处理单元，气体处理单元包括至少一过滤组件和至少一匀速组件，所过滤组件用于去除输送气体中携带的颗粒污染物，匀速组件上均匀分布有多个气孔，用...