本发明涉及杂质气体检测控制技术领域，公开了一种高纯氧气的杂质检测控制方法及系统，其中，方法包括：布设多组TDLAS检测探头与温振监测单元，获取光谱谐波信号、温度与振动数据；采用波长调制光谱解调与温压扰动补偿反演浓度；经边缘计算单元执行P...