本发明公开了一种新型电晕处理机，包括底座，所述底座顶部固定连接有支撑架，所述支撑架内侧壁开设有滑槽，所述滑槽内壁贯穿转动连接有丝杠，所述丝杠的侧壁螺纹连接有螺母，所述螺母的侧壁固定连接有支撑杆，所述支撑杆远离螺母的一端固定连接有处理板，...

本发明公开了一种平板式介质阻挡放电等离子发生器，包括箱体和多个平板式放电板，所述箱体内壁开设有滑孔，所述滑孔内壁滑动连接有多个滑块，每个所述滑块顶壁均开设有滑槽，所述滑槽内壁贯穿转动连接有第一双向丝杠，每个所述第一双向丝杠侧壁均对称螺纹...

本发明公开了一种用于等离子体处理腔室的处理配件，包括静电卡盘，所述静电卡盘的外部设有与其滑动设置的石英环，所述石英环上设有环形槽，所述环形槽内滑动有安装环，所述安装环上转动连接有多个螺纹筒，所述螺纹筒内均螺纹连接有螺杆，所述螺杆的另一端...