本发明提供一种集成电路晶圆表面缺陷检测装置，涉及集成电路领域，包括：抵紧自稳组件，所述抵紧自稳组件由抵触机构和操作机构组成，抵紧自稳组件具备抵紧后自动锁止和定位抵触支臂及其侧面定位夹块使用位置的功能，从而避免因为夹紧力度过大而导致晶圆损...