本发明提供了一种AR衍射波导及其制备方法和AR光学器件，所述AR衍射波导包括衬底和依次层叠设置于所述衬底表面的复合过渡层和二氧化钛功能层；所述复合过渡层包括依次层叠设置的含钛氮化物键合层、含氮钛氧梯度缓冲层和二氧化钛晶种适配层，所述含钛...

本发明公开了一种玻璃基衬底加工方法及加工装置，加工方法包括：将玻璃基衬底与第一预设厚度的支撑体接合，使所述支撑体支撑所述玻璃基衬底的第一表面；将所述玻璃基衬底的第二表面进行减薄处理，使所述玻璃基衬底达到第一目标厚度；在所述玻璃基衬底的第...

本发明公开了一种带图案透明晶圆的翘曲度测量装置及方法。所述翘曲度测量装置包括图像采集单元和控制单元；所述图像采集单元，用于采集带图案透明晶圆的表面的所述采样点的图像信息；所述控制单元与所述图像采集单元通信连接，用于获取所述采样点的所述图...

本发明公开了一种晶圆传送过程的位置检测方法、装置及设备。晶圆传送过程的位置检测方法包括：获取晶圆传送过程中在至少一个操作工位时的实时图像；根据实时图像提取晶圆位置；获取操作工位对应的预设标定位置；根据晶圆位置和预设标定位置确定间距值，并...

本发明涉及一种基于水热法的二氧化钛纳米柱超透镜的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：玻璃衬底的表面沉积锐钛矿相二氧化钛种子层；对锐钛矿相二氧化钛种子层进行分区图案化，经曝光显影、去胶，得到具有分区分布种子层阵列的玻璃衬底；通过水热法在具...