本申请提供一种晶圆状态检测装置和检测方法，装置包括：光源用于照射待测晶圆，折转光路用于导向待测晶圆的左侧区域、中央区域和右侧区域的反射光至成像模块，处理模块用于根据成像模块获取的待测晶圆的上下边缘像素距离和标准晶圆的上下边缘像素距离，确...

本公开涉及一种晶圆内部瑕疵检测系统和方法，该系统包括：承载单元，用于承载待检测的晶圆，所述晶圆由上至下被等分为若干层；瑕疵捕获单元，用于同时捕获不同深度层的晶圆内部瑕疵；图像生成单元，用于同时将经所述瑕疵捕获单元捕获的不同深度层的所述晶...