本公开涉及一种表征多层结构的测量系统和方法、传感器模块和制造设备。该测量系统具有传感器模块、电开关装置和测量电子设备，传感器模块包括多于两个的平面线圈，平面线圈设置在线圈堆叠中，电开关装置与平面线圈触点接通并且设置成将平面线圈与测量电子...