本发明提供一种小型、具有量产性、廉价、对氢气的选择性高、并且是高灵敏度、高精度的氢气传感器。在从基板(1)上热分离的薄膜(10)上具有加热器(25)和温度传感器(20)以及氢吸收材料(5)的氢气的浓缩部(300)与氢气传感器元件(500...

提供一种用于测量高带宽气压的高灵敏高精度的（利用加热激振的）热传导式气压传感器。该传感器拥有简单的结构和电路构成，且利用一个芯片能测量从一个极低气压到１ａｔｍ或更高的气压。在悬臂状薄膜１０上形成薄膜温度感应器、加热装置及激振装置。激振装...