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MRSI系统有限公司专利技术
MRSI系统有限公司共有2项专利
具有晶片提升与调平组合件的裸片接合系统技术方案
一种裸片接合系统包括经配置以允许将晶片迅速平面化的晶片提升与调平组合件,所述晶片提升与调平组合件包括:晶片框架,其经配置以固持晶片且可滑动地固持于导引U形夹内;及调平基座,其经配置以在将发生裸片接合操作的局部区域中从下方支撑晶片,从而允...
自对准尖端制造技术
一种裸片放置系统提供尖端主体及裸片放置头以在无需在每一拾取及放置操作之前进行校准的情况下确保裸片与衬底的平面度。并入到尖端主体中的自对准尖端帮助裸片放置/附接。此尖端提供存在于裸片与衬底之间的平面度误差的全局校正,不论这些误差是源于龙门...
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