本申请提供一种基于像素梯度和NCC的晶圆图像拼接方法及装置，包括：确定相邻两个线扫图像重叠区域的像素梯度幅值大于第一阈值的边缘像素点；计算边缘像素点在水平投影和垂直投影与单元图像的高度和宽度的比值；在比值大于第二阈值时确定具有图形特征；...

本发明涉及一种应用于晶圆上制作灰阶图形的制作方法，该方法在晶圆上绘制图形时通过设计不同宽度或尺寸的黑白相间的线条或方框作为基本图形单元，并按照等间距的方式进行排布，使得在光学显微镜放大观察时，能够呈现出预期的不同灰度。本发明提供了一种应...

本发明公开了一种用于套刻误差测量的照明光路，包括沿光路依次分布的匀光棒、准直镜、孔径光阑、聚光镜、视场光阑、中继准直镜以及物镜，准直镜和聚光镜、中继准直镜和物镜分别形成4f系统；匀光棒用于收集和匀化光源光；准直镜用于将匀光棒输出端的发散...

本申请提供一种光谱共焦镜头及光谱共焦位移传感器，光谱共焦镜头从像方到物方依次包括色散透镜组和非色散透镜组：色散透镜组包括多片单透镜，用于产生轴向色散；非色散透镜组包括至少一片消色差透镜，用于会聚光线并校正由所述色散透镜组产生的像差；其中...

本发明涉及一种兼具高适应性和高效的聚焦系统，包括：光路系统，其用于对晶圆上的待测对象进行聚焦并检测；Z轴平台，其用于承载光路系统；其中，光路系统上集成有压电陶瓷、光路传感器、步进执行机构和物镜可切换装置，光路传感器与步进执行机构形成第一...

本发明提供了一种用于晶圆检测的光源集光调制系统及其方法，涉及晶圆检测技术领域，包括：沿光传播方向依次放置的光源模块、集光模块、滤光模块和收光端面；所述光源模块，提供检测光；所述集光模块，收集检测光，并将其导入滤光模块；所述滤光模块，对检...

本发明涉及一种晶圆缺陷检测光学系统，包括：成像组件、探测组件和照明组件，照明组件用于形成明场照明和暗场照明，明场照明在反射和透射条件下分别形成反射明场照明和透射明场照明，成像组件位于待测晶圆的成像路径上，并且成像组件用于对待测晶圆成像，...