本实用新型属于测量技术领域，具体涉及一种具有自校准功能的复合型材料放气率测试系统。包括，干泵，分子泵，超高真空全金属角阀；吸气剂泵，小孔，四极质谱计，真空室，分离规，复合型真空规，样品室，电容薄膜规等器件；系统复合了累积法、动态流量法及...

本实用新型涉及一种将气体微流量校准下限延伸至10-14Pam3/s的系统，用于真空漏孔、检漏仪及气体微流量计的校准和测试。该系统包括：机械泵、两个电磁阀六个真空阀门、两个分子泵、质谱分析室、小孔、两个消气剂泵、稳压室、三个真空规、储气瓶...

本实用新型公开的复合型真空规校准系统，属于测量技术领域。本实用新型公开的复合型真空规校准系统包括机械泵、分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门、真空规、电容薄膜规、第三真...

本发明属于测量技术领域，具体涉及一种具有自校准功能的复合型材料放气率测试系统及方法。包括，干泵，分子泵，超高真空全金属角阀；吸气剂泵，小孔，四极质谱计，真空室，分离规，复合型真空规，样品室，电容薄膜规等器件；系统复合了累积法、动态流量法...

本发明涉及一种将气体微流量校准下限延伸至10-14Pam3/s的系统及方法，用于真空漏孔、检漏仪及气体微流量计的校准和测试。该系统包括：机械泵、两个电磁阀六个真空阀门、两个分子泵、质谱分析室、小孔、两个消气剂泵、稳压室、三个真空规、储气...

本发明公开的复合型真空规校准系统及方法，属于测量技术领域。本发明公开的复合型真空规校准系统包括机械泵、分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门、真空规、电容薄膜规、第三真空...