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李紫茵专利技术
李紫茵共有1项专利
一种沉积制备膜的方法及镀膜机技术
本发明公开一种沉积制备膜的方法及镀膜机,该方法包括:准备基体;在采用溅射离子源在所述基体表面溅射沉积金属膜的过程中,采用辅助离子源轰击所述金属膜,以增强所述金属膜原子的表面迁移率,提高所述金属膜的致密性。本发明提供的方法和镀膜机解决了在...
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