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刘锡潜专利技术
刘锡潜共有1项专利
一种具有保护涂层的石墨基座及其制备方法技术
本发明提供一种具有保护涂层的石墨基座及其制备方法,结合原位化学气相反应渗透+化学气相沉积两步法在多孔石墨基座表面制备碳化硅涂层。该制备方法按如下步骤进行:a.将石墨基座基体置入反应室中,当反应室温度为1300~1600℃、真空为200~...
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