一种DMD坏点补偿曝光装置，包括有一DMD曝光机、一检测单元及一光线补偿投射处理器。DMD曝光机，其具有复数个构成阵列的微反射镜，该DMD曝光机与DMD控制器的控制端连接，各微反射镜由该DMD控制器控制改变角度；一电性连接于该DMD曝光...

本实用新型公开了一种标志可移动的牌匾，涉及牌匾的技术领域，本实用新型包括：支撑架；支撑板，定于所述支撑架上；基础板；标志体，固定于所述基础板背离支撑板的表面；转动机构，连接所述支撑板和所述基础板，用于驱使所述基础板转动。通过驱动标志体移...

一种DMD曝光机误差量测装置，包括有一工作平台，其设有一轨道，此轨道上设有一用以移动晶圆的载台。轨道上方设有一量测模组，用以量测晶圆上晶粒的偏移量。轨道上方设有一DMD曝光机，用以对晶圆曝光。上述量测模组及DMD曝光机电性连接一运算模组...

一种多阶曝光装置，包括有一工作平台，其设有一用以搭载晶圆的载台。工作平台的上方设有一DMD曝光机，其具有复数个构成阵列的微反射镜，此DMD曝光机电性连接一控制单元，其可接受复数个曝光参数的设定，进而控制DMD曝光机中各微反射镜的作动，以...

一种晶圆雷射剥离作业总成系统，包括有一晶圆入口及一晶圆出口；一雷射剥离模组，用以使晶圆与玻璃基板解键分离；一玻璃移除模组，用以将解键后的玻璃基板自晶圆上移除；一校准模组，用以检查晶圆的外观并辨识晶圆外周多余的部分；一裁切模组，用以切除晶...