一种轮轴装置，包含一支轴杆，及数个滚轮单元。该轴杆包括数个安装段。所述滚轮单元分别安装在所述安装段上且与该轴杆一起转动，每一滚轮单元包括一个可移动地套置在该安装段外围的滚轮，及两个限位于该滚轮的左右两侧且带动该滚轮的扣环。该滚轮具有两个...

一种清洗设备及其轴座装置，该清洗设备包含两个左右相对的轴座装置，及数个前后排列的轮轴装置。每一轴座装置包括一个界定出数个前后间隔的嵌槽的架座，及数个分别可拆离地嵌卡在所述嵌槽内的轴套单元，每一轴套单元具有上下对应且中空的一个上轴套与一个...

一种转轴装置，包含一支轴杆，及多个套置于轴杆外的滚轮单元，该轴杆包括一个沿一条轴线延伸的轴本部、多个沿轴线间隔排列地径向突设于轴本部外周面的定位环部。滚轮单元分别包括一个会被轴杆连动而同步枢转地套置于至少一个定位环部外的轮体，及两个可拆...

本实用新型提供一种晶圆清洗设备的滚轮装置，包括一个转轴单元及多个彼此间隔地安装在该转轴单元外围的滚轮单元。该转轴单元包括一支呈长杆状的芯棒及一个包覆结合在芯棒外围的轴套。每一滚轮单元包括一个套置在该轴套外围的轮体。通过在上述轴套内埋藏有...