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林政乾专利技术
林政乾共有2项专利
连续式蒸镀溅镀机制造技术
本实用新型公开了一种连续式蒸镀溅镀机,包括真空镀膜机,所述真空镀膜机的两端分别密封连接在若干个进件真空过渡室和出件真空过渡室,每个进件真空过渡室和出件真空过渡室均安装有抽真空装置,进件真空过渡室、真空镀膜机和出件真空过渡室之间贯通有工件...
双面一次成膜真空离子溅镀机制造技术
本实用新型公开了一种双面一次成膜真空离子溅镀机,包括溅镀室、安装在溅镀室内的溅射发生器、分别与溅镀室的进口和出口密封连接的若干个真空过渡室、贯穿于真空过滤室和溅镀室的工件输送线,所述溅镀室包括第一溅镀室和第二溅镀室,第一溅镀室内的溅射发...
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