一种基板支撑设备所使用的垫片，其为一环状垫圈，该环状垫圈为一几近圆形的环状空心的条状结构，该条状结构的一部分呈笔直状；其中，不为笔直状的条状结构延伸的角度超过270度；其中，该环状垫圈的条状结构的截面为四边体，其至少一边具有下凹结构；因...

本实用新型揭露一种承载装置，其包含一固定盘，固定盘的一面设置有复数个承载部，以分别用以承载一工件，各承载部的外周分别围绕设置有一围部，承载部与其对应设于外周的围部之间具有间距以形成一间隙，其中，部份或全部的围部彼此相互连接。