本申请公开了一种MEMS扬声器及其制作方法、设备、介质，MEMS扬声器，包括：多边形的悬臂梁结构，悬臂梁的中心设置岛状硅基致动器，岛状硅基致动器上的一部分设置有压电薄膜层，悬臂梁结构的顶层覆盖有机膜以形成封闭层，压电薄膜层施加电压后使岛...

本申请公开了一种MEMS风扇及其制作方法、设备、介质，本申请提出的MEMS风扇方案，通过在悬臂梁结构的顶层覆盖有机膜以形成封闭层，并在悬臂梁边缘设置边缘硅悬臂以及在悬臂梁的中心设置岛状硅片，增加有机膜的震动幅度，提升了出风空气量。

本申请公开了一种MEMS风扇及其制作方法、设备、介质，本申请提出的MEMS风扇方案，通过在悬臂梁结构的顶层覆盖有机膜以形成封闭层，以及设置边缘硅基致动器和岛状硅基致动器后，在边缘硅基致动器和岛状硅基致动器上的压电薄膜层施加相反的交流电场...

本申请公开了一种MEMS风扇及其制作方法、设备、介质，本申请提出的MEMS风扇方案，通过在悬臂梁结构的顶层覆盖有机膜以形成封闭层，并通过对压电薄膜层施加电压以使得硅悬臂同频共振，以此产生压缩空气并从在封装外壳上开设的出风口喷射出去，实现...

本申请公开了一种MEMS风扇及其制作方法、设备、介质，本申请提出的MEMS风扇方案，通过在悬臂梁结构的顶层覆盖有机膜以形成封闭层，以及设置不覆盖硅悬臂的封闭加厚层后，让硅悬臂的活动不会被封闭加厚层阻碍，硅悬臂仅作为发动机部分，通过有机膜...

本申请公开了一种MEMS扬声器及其制作方法、设备、介质，MEMS扬声器包括：多边形的悬臂梁结构，悬臂梁的至少一侧向中心延伸出硅悬臂，硅悬臂上的一部分设置有压电薄膜层，悬臂梁结构的顶层覆盖有机膜以形成封闭层，压电薄膜层施加电压后使硅悬臂上...