本技术提供一种具有真空度调节功能的高真空系统，涉及真空设备技术领域，该高真空系统包括真空箱体和分子泵组件；分子泵组件包括分子泵和前级泵，分子泵与所述前级泵通过导气管相连；分子泵的过渡箱体与真空箱体通过抽气管相连，抽气管上还设有高精度的流...

本技术提供的一种带旁通管路的抽真空分子泵机组，涉及真空泵技术领域，该分子泵机组包括分子泵和前级泵；分子泵顶部设有过渡气筒，过渡气筒与分子泵的进气口相连，过渡气筒上设有连接口和旁通接口，所述旁通接口与前级泵相连。本技术的有益效果为：该分子...