本发明公开了一种高纯碳化硅粉料的制备方法，由如下制备步骤构成：将碳源原料与硅源原料混合，然后采用微波加热固相反应直接合成制得碳化硅粉料，制得碳化硅粉料后冷却、破碎粉料、粉料纯化后处理后制得高纯碳化硅粉料；在前述微波加热工序中还设有混合原...