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兰姆德X公司专利技术
兰姆德X公司共有1项专利
傅立叶变换偏转测量系统和方法技术方案
本发明涉及一种用于光学检验相位和振幅对象2的傅立叶变换偏转测量系统和方法,该相位和振幅对象2被放置在光栅3和成像系统4之间的光径中、与光栅3的距离为h。光栅3形成了在图像平面的x,y正交轴上分别具有空间频率μ0,v0的基于对比的周期图形...
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