本发明提供抑制颗粒的产生、并且透气性良好且压力损失低的具备陶瓷粒子的多孔质部件及其制造方法。本发明所涉及的具有陶瓷粒子的多孔质部件包括：筒状的壳体(2)，其两端开口；多个陶瓷粒子(3)，其填充在所述壳体内；以及一对多孔质盖体(4)，其将...

本发明提供一种具有耐裂纹性、被热处理的Si晶片、SiC晶片能够保持其品质并且基座自身的使用寿命长的半导体热处理部件。该半导体热处理部件在基材表面具有多个SiC膜，其中，所述SiC膜具有由3C‑SiC和2H‑SiC构成的晶体，所述3C‑S...

本发明提供一种抑制刷的跳动、降低刷的磨损、实现长寿命化的金属石墨质刷及金属石墨质刷的制造方法。本发明所涉及的金属石墨质刷在含有石墨和金属并且形成有气孔的金属石墨质刷中，至少在形成于所述金属石墨质刷的滑动面的所述气孔的内部空间的至少一部分...

本发明提供一种能够提高坐乘性和确保摩擦磨损的稳定性、且长寿命的金属石墨质刷。本发明所涉及的金属石墨质刷含有石墨和金属粉末并且形成有气孔，至少在滑动面上具有长条形状的气孔，开气孔率为15％以上且40％以下。优选所述长条形状的气孔的长轴方向...