本技术提供了一种激光成像装置，其包括支撑组件、设于所述支撑组件上的激光组件、成像组件及设于所述支撑组件下方的传输机构，所述传输机构包括第二驱动件及设于所述第二驱动件上的载台组件，所述载台组件包括载台、设于所述载台一侧的多个固定夹具及设于...

本技术提供了一种激光发生机构及曝光装置，所述激光发生机构包括壳体、设于壳体内的安装板、多个激光器及激光器驱动器，所述安装板开设有冷却水管道，所述冷却水管道两端为进水口及出水口，所述进水口及出水口开设于所述安装板的一侧，所述激光器沿所述冷...

本技术提供了一种DLP模块风冷机构，其包括依次设置的安装架、DLP板卡、导热硅胶、散热板及散热风扇，所述散热板朝向所述DLP板卡的一侧设有导热凸起，所述导热凸起与所述DLP板卡上的芯片一一对应，所述导热硅胶设于所述导热凸起与所述芯片之间...

本技术提供了一种直写式光刻曝光装置，其包括依次设置的光源、入射光路单元、均光单元、场镜、TIR棱镜、DMD单元、双远心物镜及工件台，所述光源发出的光束依次经过入射光路单元、均光单元、场镜、TIR棱镜、DMD单元、TIR棱镜及双远心物镜投...

本技术提供了一种基于DMD的光刻投影物镜，其包括从物侧到像测依次设置的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组，所述基于DMD的光刻投影物镜满足下列条件：200mm<F1<210mm，‑71mm<F2<‑6...