根据本发明的示范性实施例，提供有一种图案化光阻剂的方法。所述方法包括：使用照射系统选择性地照射所述光阻剂的边缘部分，以形成所述光阻剂的图案化部分。

本发明提供一种用于使用辐射将影像投射至工作部件上的平版印刷系统。该平版印刷系统包括：一支撑结构，用于支撑一工作部件；一辐射源，用于提供辐射以将一影像投射至该工作部件上；一光罩，设置于该辐射源及该工作部件之间；以及一屏蔽，设置以邻近于该光...