平版印刷系统及操作该系统的方法技术方案

本发明专利技术提供一种用于使用辐射将影像投射至工作部件上的平版印刷系统。该平版印刷系统包括：一支撑结构，用于支撑一工作部件；一辐射源，用于提供辐射以将一影像投射至该工作部件上；一光罩，设置于该辐射源及该工作部件之间；以及一屏蔽，设置以邻近于该光罩，该屏蔽配置以阻挡来自该辐射源的辐射，该屏蔽包括一排热装置。装置。装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】平版印刷系统及操作该系统的方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请主张2019年4月9日提交的美国临时申请案第62/831,381号的优先权权益，其内容通过引用并入本文。


[0003]本专利技术涉及一种平版印刷系统，更特定地，涉及关于在平版印刷系统的光罩(reticle)的区域中的热能。

技术介绍

[0004]在平版印刷应用中，由辐射源所提供的辐射被用于工作部件(例如，晶圆)上曝光区域(field)。通常，期望的是不仅曝光工作部件上的完整区域，也同时曝光部分区域(例如，用于工作部件上的对准标记)。
[0005](包括某种形式的光罩屏蔽(reticle masking)之)传统的系统示于，例如，美国专利号U.S.6,348,303及美国专利号U.S.7,382,439中。这种系统包括在系统的反射镜(illuminator)中使用叶片(blade)之光罩屏蔽，且非邻近于光罩。
[0006]特定的传统平版印刷系统包括具有遮光层(例如，铬层)的光罩，其中，该层吸收来自平版印刷系统的辐射源的某部分辐射。这种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种平版印刷系统，用于使用辐射将影像投射至工作部件上，该平版印刷系统包括：一支撑结构，用于支撑一工作部件；一辐射源，用于提供辐射以将一影像投射至该工作部件上；一光罩，设置于该辐射源及该工作部件之间；以及一屏蔽，设置以邻近于该光罩，该屏蔽配置以阻挡来自该辐射源的辐射，该屏蔽包括一排热装置。2.如权利要求1所述的平版印刷系统，其中，该排热装置包括一本体部，该本体部定义至少一冷却通道，该至少一冷却通道配置以从一流体源接收一冷却流体。3.如权利要求2所述的平版印刷系统，其中，该排热装置将该冷却流体朝向该光罩引导。4.如权利要求2所述的平版印刷系统，其中，该冷却流体为空气，以及，该流体源为一空气供应源。5.如权利要求2所述的平版印刷系统，其中，该冷却流体为一液体，以及，该流体源为一冷却液体供应源。6.如权利要求1所述的平版印刷系统，其中，该排热装置包括一本体部，该本体部定义复数个冷却通道，该等冷却通道配置以从一流体源接收一冷却流体。7.如权利要求6所述的平版印刷系统，其中，该排热装置包括至少一返回通道，该至少一返回通道引导该冷却流体，以使该冷却流体返回至该流体源。8.如权利要求6所述的平版印刷系统，其中，在该冷却流体对该屏蔽的至少一部分提供冷却之后，该冷却流体由该排热装置朝向该光罩引导。9.如权利要求1所述的平版印刷系统，其中，该屏蔽包括复数个组件，该等组件使用该光罩的一图案及来自该辐射源的辐射，整体地定义要被投射至该工作部件上的一影像的一照射区域，该等组件中的至少一个包括该排热装置的至少一部分。10.如权利要求9所述的平版印刷系统，其中，该等组件中的至少一个沿着该平版印刷系统的一z轴设置于该光罩上方，以及，该等组件中的至少另一个沿着该平版印刷系统的该z轴设置于该光罩下方。11.如权利要求9所述的平版印刷系统，其中，该等组件中的至少一个可相对于该等组件中的另一个移动，使得该照射区域的一尺寸可以调整。12.如权利要求9所述的平版印刷系统，其中，该等组件包括复数个叶片。13.如权利要求1所述的平版印刷系统，其中，该屏蔽包括复数个组件，该等组件配置以使用该光罩的一图案及来自该辐射源的辐射，定义要被投射至该工作部件上的一影像的一照射区域。14.如权利要求13所述的平版印刷系统，其中，该等组件中的至少一部分可相对于彼此移动，使得该照射区域是可变化的。15.如权利要求1所述的平版印刷系统，其中，该屏蔽使用该光罩的一图案及来自该辐射源的辐射，定义要被投射至该工作部件上的一影像的一照射区域。16.如权利要求15所述的平版印刷系统，其中，该屏蔽可在该平版印刷系统的一x
‑
y平面中移动，使得该照射区域的一位置可以变化。17.如权利要求1所述的平版印刷系统，其中，该屏蔽定义复数个照射区域，各个该等照
射区域配置以使用该光罩的一图案及来自该辐射源的辐射，定义要被投射至该工作部件上的一影像。18.如权利要求17所述的平版印刷系统，其中，该屏蔽可在该平版印刷系统的一x
‑
y平面中移动，以从该等照射区域中作选择。19.如权利要求1所述的平版印刷系统，其中，该屏蔽包括：一本体部；以及一辐射吸收涂层，施加至该本体部的一外部表面的至少一部分。20.如权利要求19所述的平版印刷系统，其中，该辐射吸收涂层为一无机黑色涂层。21.如权利要求1所述的平版印刷系统，其中，该排热装置包括一散热器，该散热器耦接至该屏蔽的一本体部。22.如权利要求21所述的平版印刷系统，其中，该散热器藉由一导热编带耦接至该屏蔽的该本体部。23.如权利要求21所述的平版印刷系统，其中，该散热器接收一冷却流体，用于对该屏蔽提供冷却。24.如权利要求1所述的平版印刷系统，其中，该排热装置包括一导管，该导管耦接至该屏蔽的一本体部，该导管配置以将一冷却流体朝向该光罩引导。25.如权利要求1所述的平版印刷系统，其中，该屏蔽沿着该平版印刷系统的一z轴，设置在距离该光罩的100mm以内。26.一种平版印刷系统，用于使用辐射将影像投射至工作部件上，该平版印刷系统包括：一支撑结构，用于支撑一工作部件；一辐射源，用于提供辐射以将一影像投射至该工作部件上；一光罩，设置于该辐射源及该工作部件之间；以及一屏蔽，设置以邻近于该光罩，该屏蔽配置以阻挡来自该辐射源的辐射，其中，该屏蔽包括：一本体部；以及一辐射吸收涂层，施加至该本体部的一外部表面的至少一部分。27.如权利要求26所述的平版印刷系统，其中，该屏蔽沿着该平版印刷系统的一z轴，设置在距离该光罩的100mm以内。28.如权利要求26所述的平版印刷系统，其中，该辐射吸收涂层为一无机黑色涂层。29.一种平版印刷系统，用于使用辐射将影像投射至工作部件上，该平版印刷系统包括：一支撑结构，用于支撑一工作部件；一辐射源，用于提供辐射以将一影像投射至该工作部件上；一光罩，设置于该辐射源及该工作部件之间；以及一屏蔽，设置以邻近于该光罩，该屏蔽配置以阻挡来自该辐射源的辐射，该屏蔽使用该光罩的一图案及来自该辐射源的辐射，定义要被投射至该工作部件上的该影像的一照射区域，由该屏蔽所定义的该照射区域可以变化。30.如权利要求29所述的平版印刷系统，其中，该屏蔽包括复数个配置以定义该照射区
域的组件，该等组件中的至少一个可相对于其余该等组件移动，使得该照射区域是可变化的。31.一种平版印刷系统，用于使用辐射将影像投射至工作部件上，该平版印刷系统包括：一支撑结构，用于支撑一工作部件；一辐射源，用于提供辐射以将一影像投射至该工作部件上；一光罩，设置于该辐射源及该工作部件之间；以及一屏蔽，设置以邻近于该光罩，该屏蔽配置以阻挡来自该辐射源的辐射，该屏蔽使用该光罩的一图案及来自该辐...

【专利技术属性】
技术研发人员：J，
申请(专利权)人：库力amp，amp，索法利特克有限公司，
类型：发明
国别省市：