本发明提供了一种高频SAW谐振器及其制备方法。本发明的高频SAW谐振器包括衬底、金刚石基体、金属电极层、压电层、叉指电极和二氧化硅层，金刚石基体设置在衬底上，金属电极层设置在金刚石基体上，压电层设置在金属电极层上，叉指电极间隔设置在压电...