目的在于，获得高精度的反射图像等。检查装置具有：表面缺陷检测系统，其具有包含照明激光光源装置的照明装置和包含反射传感器的反射观察装置；以及光致发光检测系统，其具有包含激励激光光源装置的UV照射装置和包含荧光传感器的荧光观察装置，该检查装...