本技术公开用于清洁半导体晶圆的刷辊的夹具，包括由多根主框架以及连接框架构成的环形夹具本体，所述环形夹具本体内侧等间距环向设置有多个导向槽，所述导向槽包括呈夹角设置的两个框架板，分别为第一框架板和第二框架板，相邻所述导向槽的框架板之间通过...

本技术涉及一种用于清洁半导体晶圆的刷辊，其开发目的是确保安装在内杆上的刷辊在按压晶圆表面以去除晶圆表面残留的各种异物或颗粒的同时，随内杆稳定旋转，从而使旋转刷辊具有更圆的横截面并保持恒定的接触状态。一种用于清洁半导体晶圆的刷辊，表面有许...

本技术公开用于清洁半导体晶圆的刷辊的内杆，包括中空的内杆、配置于内杆一端的进水端以及配置于内杆另一端的末端，内杆的横截面为多边形，所述多边形至少包括八条边且边数为偶数条，所述内杆外表面配置有由边条和纵隔板交替组成的多条棱，每条棱沿着内杆...