一种用于气体/固体分离的液体过滤装置，包括具有过滤室、半导体工艺气体入口、和工艺气体出口的外壳。过滤室形成液体储存器，半导体工艺气体入口及工艺气体出口与过滤腔室相连通。该外壳还包括过滤液入口和过滤液出口，其均与液体储存器相连通，以分别用...

一种产生活性化学物质、蒸汽或过热蒸汽的方法，包括使一种或多种流体流动通过导管，将一个或多个白炽灯定位为非常靠近该导管，以及使用从一个或多个白炽灯发出的至少一部分热量来加热流动通过该导管的一种或多种流体，使得一种或多种流体分解成化学成分、...