对于用于在布置于物体上的光敏层内产生曝光结构的曝光设备，所述曝光设备包括容纳物体的物体载体和曝光装置，其中，物体载体和曝光装置可以彼此相对运动，以及其中，利用所述曝光装置可以位置受控制地在光敏层上产生曝光点，从曝光装置中发出曝光射束，利...

为了在板状物体的加工设备中，以如下方式对该加工设备进行改进，即：使板状物体相对于载物台的位置能得到精确确定，其中，所述加工设备具有曝光装置和载物台，所述载物台具有用于容纳物体的载物台面，其中，曝光装置能相对于载物台彼此相对运动，所提出的...