本申请提供了一种探针盘。其包括盘体，在盘体的底面周侧围设有密封件，密封件用于盘体在靠近晶片时与晶片上表面围合形成检测区域；在盘体上、位于密封件的内侧阵列设置有贯穿的探针孔，探针孔用于供探针穿过；在盘体底面、位于探针孔区域的周侧设置有进气...

本申请提供了一种晶圆检测烘干平台，其包括烘干组件、传送组件及承载平台；所述烘干组件设置于所述传送组件的一端，所述烘干组件包括烘干室和设置于所述烘干室中的热源；所述承载平台设置于所述传送组件，所述传送组件用于将所述承载平台传送至所述烘干室...

本申请提供了一种晶圆测试机，其包括机架，以及设置于机架上的第一直线机构、测试机构、打点机构、烘干加热机构、上料推送机构和吸取机构，此外，在第一直线机构上还设置有晶圆承载机构；其中，晶圆承载机构包括滑台和均设置于滑台的可旋转的测试台以及设...

本申请提供了一种打点装置，其设置有座体，在所述座体上设置有音圈电机；在所述座体上、位于所述音圈电机的至少一侧沿所述音圈电机的直线驱动方向设置有滑杆，在所述滑杆上套设有驱动杆，所述驱动杆与所述音圈电机的驱动端相连接，所述音圈电机用于驱动所...