本发明公开了用于净化来自ＮＦ↓［３］反应器的含有未反应的Ｆ↓［２］、ＨＦ和氮的氧化物的三氟化氮（ＮＦ↓［３］）物流的方法的一种改进，其中Ｆ↓［２］和ＨＦ被去除，然后通过吸附去除氮的氧化物。该方法的改进在于从所述ＮＦ↓［３］物流中选择性地...