薄膜真空喷镀装置含一个其中装好喷镀材料（１０）的喷镀材料蒸发室（１），在此室的外面布置着加热元件（２）。准直室（３）与蒸发室（１）通联，并且它们的结构相同。这两室（１、３）中的每一室均制作着布置在同一水平中心线（８）上的两个孔（４、５）...