本申请公开了一种单晶炉循环水路结构，包括内部均设有散热槽的下法兰和上法兰，所述下法兰和上法兰之间同轴设有外筒和内筒，所述外筒和内筒之间插设有螺旋管，所述下法兰和上法兰上分别设有与散热槽连通的进水部件、排水部件，所述螺旋管两端通过导管与散...