本发明提供了一种原子层沉积前驱体材料的制备方法，以金属氯化物或者非氯锂盐来合成原子层沉积前驱体材料。所述制备方法包括如下步骤：1）将烷烃溶剂和正丁基锂混合，制备第一反应物；2）将烷基胺加入至所述第一反应物中进行第一反应，制备第二反应物；...