本申请涉及半导体加工设备领域，一种隔纸自动传送滑台系统，线性滑台机构包括移动式滑台，移动式滑台上设有可移动的隔纸移动平台，隔纸移动平台上有用于隔纸定位的固定块和可调式隔纸引导块；滑台底板上有用于检测隔纸移动平台上隔纸有无的第一传感器，移...