本申请涉及一种保温筒吊装装置，涉及半导体技术领域，一种保温筒吊装装置，包括吊盘、用于支撑保温筒的安装圆环以及环绕安装圆环设置的多根吊杆，所述吊杆与所述安装圆环可拆卸连接，所述吊盘包括安装盘、转动连接于安装盘内的调节盘以及能够沿着所述安装...

本申请涉及一种分级振动撒粉装置，涉及半导体技术领域，一种分级振动撒粉装置，包括撒粉架、振动电机以及用于承托撒粉架的承托架，撒粉架安装在承托架上，振动电机安装于承托架的一侧并用于带动撒粉架振动，撒粉架内插入有用于筛分石墨粉的第一筛板和第二...

本申请提供一种带有冷却结构的高温炉，涉及多晶硅加工设备的技术领域。带有冷却结构的高温炉包括炉体、保温笼箱、容纳箱体和冷却装置，保温笼箱设置于炉体内，炉体和保温笼箱之间形成了流通腔；保温笼箱包括箱体、保温门和第一移动驱动源，保温门与第一移...