System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种保温筒吊装装置制造方法及图纸_技高网

一种保温筒吊装装置制造方法及图纸

技术编号:41157420 阅读:5 留言:0更新日期:2024-04-30 18:21
本申请涉及一种保温筒吊装装置,涉及半导体技术领域,一种保温筒吊装装置,包括吊盘、用于支撑保温筒的安装圆环以及环绕安装圆环设置的多根吊杆,所述吊杆与所述安装圆环可拆卸连接,所述吊盘包括安装盘、转动连接于安装盘内的调节盘以及能够沿着所述安装盘径向方向移动的支撑杆,所述调节盘的一侧开设有涡状槽,所述支撑杆的一端插入至所述安装盘内且连接有多个与所述涡状槽匹配的限位块,所述支撑杆的另一端设置有能够与所述吊杆连接的定位套。本申请具有通用性更高的效果。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体,尤其是涉及一种保温筒吊装装置


技术介绍

1、单晶炉是一种在惰性气体氮气、氦气为主环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,在半导体
中起着至关重要的作用。

2、其中,单晶炉的炉体和石墨加热器之间设有石墨保温筒,石墨保温筒主要包括上保温毡、下保温毡以及底座,在取出单晶炉内的坩埚时,需要将保温筒从炉体内取出,取出时会用到吊装装置对保温筒进行吊装,吊装装置主要包括吊盘和吊杆,吊盘具有多个固定吊点,在吊装时,将吊杆的一端通过吊索与吊盘相连,吊盘的另一端插入炉体内并与保温筒配合,随后操纵吊机进行吊升。

3、然而,在吊盘上的吊点固定,对于不同尺寸大小的保温筒,吊索会在绷直状态下与保温筒的轴线之间形成夹角,对吊杆以及吊盘形成沿径向方向的撕扯力,使吊盘造成较大的伤害,因此在吊装时,会根据不同尺寸大小的保温筒定制吊盘,导致吊盘的通用性不高。


技术实现思路

1、本申请的目的是提供一种通用性更高的对保温筒进行吊装的吊装装置。

2、本申请提供的一种保温筒吊装装置采用如下的技术方案:

3、一种保温筒吊装装置,包括吊盘、用于支撑保温筒的安装圆环以及环绕安装圆环设置的多根吊杆,所述吊杆与所述安装圆环可拆卸连接,所述吊盘包括安装盘、转动连接于安装盘内的调节盘以及能够沿着所述安装盘径向方向移动的支撑杆,所述调节盘的一侧开设有涡状槽,所述支撑杆的一端插入至所述安装盘内且连接有多个与所述涡状槽匹配的限位块,所述支撑杆的另一端设置有能够与所述吊杆连接的定位套。

4、通过采用上述技术方案,在对保温筒进行吊装时,将吊杆与安装圆环插接,使吊杆对保温筒进行定位,随后转动安装于安装盘内的调节盘,而支撑杆上的限位块与涡状槽相匹配,在调节盘的带动下,支撑杆沿着远离安装盘中心的方向伸出安装盘,通过转动调节盘,以对支撑杆的长度进行调节,使支撑杆上的定位套能够与吊杆处在同一轴线上,使吊盘能够与不同尺寸大小的保温筒相匹配,通用性更高。

5、可选的,所述安装盘的顶端连接有用于驱动所述安装盘转动的驱动组件,所述驱动组件包括连接套和驱动电机,所述连接套的顶端具有吊耳,所述安装盘的顶端开设有避让孔,所述驱动电机可拆卸连接于所述连接套内,所述驱动电机的输出轴穿过所述避让孔并与所述调节盘连接。

6、通过采用上述技术方案,在调节支撑杆的伸出安装盘的长度时,使驱动电机带动调节盘转动,待调节完毕后,将连接套顶端上的吊耳与吊机相连,操作方便。

7、可选的,所述驱动组件还包括多根环绕所述连接套设置的限位杆,所述调节盘上开设有限位环槽,所述限位杆的一端与所述连接套可拆卸连接,所述限位杆的另一端插入至所述限位环槽内。

8、通过采用上述技术方案,限位杆伸入至限位环槽内,对调节盘的转动进行约束,阻止调节盘在转动时位置发生偏移的可能性,有利于提高吊装的安全性。

9、可选的,所述安装圆环设置有两个且沿着所述吊杆的长度方向依次设置,一个所述安装圆环用于与所述保温筒的底侧抵接,另一个所述安装圆环用于与所述保温筒的顶侧抵接,两个所述安装圆环的外圈均连接有限位环板。

10、通过采用上述技术方案,在吊装保温筒的过程中,安装圆环对保温筒进行承托,而安装圆环上的限位环板则与保温筒的外侧壁相抵接,阻止保温筒的位置发生偏移。

11、可选的,所述安装圆环上环绕设置有多组防护件,多组所述防护件与多根所述吊杆一一对应设置,所述防护件包括两块防护垫板,两块所述防护垫板均可拆卸连接在所述安装圆环上。

12、通过采用上述技术方案,防护垫板直接与保温筒的端面相抵接,形成安装圆环与保温筒之间的缓冲,阻止安装圆环在承托保温筒时发生变形的可能性,对安装圆环起到较好的保护作用。

13、可选的,所述防护件还包括两个弧形防护板,所述弧形防护板的弧形面背离保温筒外侧壁设置,两个所述弧形防护板对向设置在所述防护垫板上并任意一个所述防护垫板连接。

14、通过采用上述技术方案,在吊装保温筒的过程中,弧形防护板的弧形面与保温炉的内壁面相贴合,阻止保温筒与保温炉的侧壁相接触进而发生碰撞的可能性。

15、可选的,所述支撑杆与所述定位套连接的一侧设置有缓冲件,所述缓冲件包括缓冲套以及第一弹性元件,所述定位套安装于所述缓冲套的底侧,所述缓冲套与所述支撑杆插接,所述第一弹性元件置于所述缓冲套内且两端分别与所述缓冲套和所述支撑杆连接。

16、通过采用上述技术方案,在吊装时,若吊机操作失误使吊盘的位置发生偏移,此时位于缓冲套内的第一弹性元件适应性收缩或伸张,起到较好地减震缓冲作用,阻止弧形防护板对保温炉之间形成较大的压力从而使吊杆被折断的可能性,有利于提高装置的安全性。

17、可选的,所述支撑杆的两侧均设置有约束块,所述缓冲套沿自身长度方向贯穿开设有约束槽,所述约束块置于所述约束内并能够相对所述缓冲套滑动。

18、通过采用上述技术方案,在缓冲套相对支撑杆滑动的过程中,置于约束槽内的约束块对缓冲套的移动进行约束,阻止缓冲套的位置发生偏移。

19、综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:

20、1.本申请中设置有吊盘对保温筒进行吊装,在对保温筒进行吊装时,将吊杆与安装圆环插接,使吊杆对保温筒进行定位,随后转动安装于安装盘内的调节盘,而支撑杆上的限位块与涡状槽相匹配,在调节盘的带动下,支撑杆沿着远离安装盘中心的方向伸出安装盘,通过转动调节盘,以对支撑杆的长度进行调节,使支撑杆上的定位套能够与吊杆处在同一轴线上,使吊盘能够与不同尺寸大小的保温筒相匹配,通用性更高。

21、2.本申请中设置有驱动组件为吊盘的调节提供动力,且在调节过程中,限位杆伸入至限位环槽内,对调节盘的转动进行约束,阻止调节盘在转动时位置发生偏移的可能性,有利于提高吊装的安全性。

22、3.本申请中设置有防护件对保温筒以及安装圆环进行保护,在吊装保温筒的过程中,安装圆环对保温筒进行承托,而防护垫板直接与保温筒的端面相抵接,形成安装圆环与保温筒之间的缓冲,阻止安装圆环在承托保温筒时发生变形的可能性,对安装圆环起到较好的保护作用。

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【技术保护点】

1.一种保温筒吊装装置,其特征在于,包括吊盘(1)、用于支撑保温筒(30)的安装圆环(2)以及环绕安装圆环(2)设置的多根吊杆(40),所述吊杆(40)与所述安装圆环(2)可拆卸连接,所述吊盘(1)包括安装盘(11)、转动连接于安装盘(11)内的调节盘(12)以及能够沿着所述安装盘(11)径向方向移动的支撑杆(13),所述调节盘(12)的一侧开设有涡状槽(121),所述支撑杆(13)的一端插入至所述安装盘(11)内且连接有多个与所述涡状槽(121)匹配的限位块(14),所述支撑杆(13)的另一端设置有能够与所述吊杆(40)连接的定位套(50)。

2.根据权利要求1所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述安装盘(11)的顶端连接有用于驱动所述安装盘(11)转动的驱动组件(3),所述驱动组件(3)包括连接套(31)和驱动电机(32),所述连接套(31)的顶端具有吊耳(20),所述安装盘(11)的顶端开设有避让孔(111),所述驱动电机(32)可拆卸连接于所述连接套(31)内,所述驱动电机(32)的输出轴穿过所述避让孔(111)并与所述调节盘(12)连接。

3.根据权利要求2所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述驱动组件(3)还包括多根环绕所述连接套(31)设置的限位杆(33),所述调节盘(12)上开设有限位环槽(132),所述限位杆(33)的一端与所述连接套(31)可拆卸连接,所述限位杆(33)的另一端插入至所述限位环槽(132)内。

4.根据权利要求1所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述安装圆环(2)设置有两个且沿着所述吊杆(40)的长度方向依次设置,一个所述安装圆环(2)用于与所述保温筒(30)的底侧抵接,另一个所述安装圆环(2)用于与所述保温筒(30)的顶侧抵接,两个所述安装圆环(2)的外圈均连接有限位环板(4)。

5.根据权利要求4所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述安装圆环(2)上环绕设置有多组防护件(5),多组所述防护件(5)与多根所述吊杆(40)一一对应设置,所述防护件(5)包括两块防护垫板(51),两块所述防护垫板(51)均可拆卸连接在所述安装圆环(2)上。

6.根据权利要求5所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述防护件(5)还包括两个弧形防护板(52),所述弧形防护板(52)的弧形面背离保温筒(30)外侧壁设置,两个所述弧形防护板(52)对向设置在所述防护垫板(51)上并任意一个所述防护垫板(51)连接。

7.根据权利要求1所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述支撑杆(13)与所述定位套(50)连接的一侧设置有缓冲件(6),所述缓冲件(6)包括缓冲套(61)以及第一弹性元件(62),所述定位套(50)安装于所述缓冲套(61)的底侧,所述缓冲套(61)与所述支撑杆(13)插接,所述第一弹性元件(62)置于所述缓冲套(61)内且两端分别与所述缓冲套(61)和所述支撑杆(13)连接。

8.根据权利要求7所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述支撑杆(13)的两侧均设置有约束块(7),所述缓冲套(61)沿自身长度方向贯穿开设有约束槽(611),所述约束块(7)置于所述约束内并能够相对所述缓冲套(61)滑动。

9.根据权利要求7所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述定位套(50)与所述缓冲套(61)连接的一侧台阶状设置,所述缓冲套(61)上开设有与所述定位套(50)相匹配的台阶孔(612),所述台阶孔(612)的内壁上延伸有定位环板(8)且内设有第二弹性元件(9),所述定位套(50)的端部开设有与所述定位环板(8)相匹配的定位槽(501),所述第二弹性元件(9)的两端分别与所述定位套(50)的台阶面和所述台阶孔(612)壁面抵接。

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【技术特征摘要】

1.一种保温筒吊装装置,其特征在于,包括吊盘(1)、用于支撑保温筒(30)的安装圆环(2)以及环绕安装圆环(2)设置的多根吊杆(40),所述吊杆(40)与所述安装圆环(2)可拆卸连接,所述吊盘(1)包括安装盘(11)、转动连接于安装盘(11)内的调节盘(12)以及能够沿着所述安装盘(11)径向方向移动的支撑杆(13),所述调节盘(12)的一侧开设有涡状槽(121),所述支撑杆(13)的一端插入至所述安装盘(11)内且连接有多个与所述涡状槽(121)匹配的限位块(14),所述支撑杆(13)的另一端设置有能够与所述吊杆(40)连接的定位套(50)。

2.根据权利要求1所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述安装盘(11)的顶端连接有用于驱动所述安装盘(11)转动的驱动组件(3),所述驱动组件(3)包括连接套(31)和驱动电机(32),所述连接套(31)的顶端具有吊耳(20),所述安装盘(11)的顶端开设有避让孔(111),所述驱动电机(32)可拆卸连接于所述连接套(31)内,所述驱动电机(32)的输出轴穿过所述避让孔(111)并与所述调节盘(12)连接。

3.根据权利要求2所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述驱动组件(3)还包括多根环绕所述连接套(31)设置的限位杆(33),所述调节盘(12)上开设有限位环槽(132),所述限位杆(33)的一端与所述连接套(31)可拆卸连接,所述限位杆(33)的另一端插入至所述限位环槽(132)内。

4.根据权利要求1所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述安装圆环(2)设置有两个且沿着所述吊杆(40)的长度方向依次设置,一个所述安装圆环(2)用于与所述保温筒(30)的底侧抵接,另一个所述安装圆环(2)用于与所述保温筒(30)的顶侧抵接,两个所述安装圆环(2)的外圈均连接有限位环板(4)。

5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐珊珊唐青岗张亮吴金友陈小飞黎心如徐子云
申请(专利权)人:江苏科赢应材科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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