本发明公开了一种面向SiC减薄的陶瓷金刚石砂轮及其制备方法，所述砂轮包括复合磨料25%~35%、陶瓷结合剂30~40%、复合造孔剂25~35%、分散剂1~1.5%、多效改性剂2~3%和润滑剂1~1.5%，制备方法具体包括：S1、按照配方...

本发明公开了一种用于硅晶圆背面减薄的复合结合剂砂轮及其制备方法，所述砂轮按照质量比包括金刚石磨料20%‑35%、金属结合剂20%‑35%、树脂10%‑20%、造孔剂20%‑30%和填料3%‑10%，所述金刚石磨料粒度选为8000#‑30...

本发明公开了一种面向微粉多级分筛的自动化装置及其方法；本发明通过设置机械臂组件和离心装置，免去传统的手工“筛分‑过滤‑二次筛分”的繁杂工序流程，节约人力成本且优化了分筛方法，优化后的离心瓶包括离心瓶包括离心瓶主体、离心瓶上组件和离心瓶下...