本发明公开了一种OLED上PECVD使用的气体均匀扩散装置，包括：下腔体、下电极、上腔体、扩散导流分布机构和气体输送部件。上腔体固定设置于下腔体的上方。扩散导流分布机构设置于上腔体内，扩散导流分布机构包括固定设置于上腔体内部下方的扩散导...

本发明公开了一种管道内壁清洁装置，包括清洁链条、驱动组件和从动组件，所述清洁链条用于刮擦待清洁管道的内壁，包括多个顺序连接的清洁块；所述驱动组件连接所述清洁链条的一端，并驱动该清洁链条绕一轴线转动；所述从动组件连接至所述清洁链条的另一端...

本发明公开了一种开盖防呆机构，属于真空系统技术领域，用于预防真空腔体上的上盖板异常开启，包括提升轴和进气管；所述提升轴固定安装在上盖板上；所述进气管的一端固定连接有密封盖，所述密封盖固定安装在上盖板上，所述进气管的一端与真空腔体的内部相...

本发明公开了一种定位校准装置，包括箱体、设置于箱体内的多个支撑件以及配合设置的校准组件，多个支撑件之间设置有间距，用于共同支撑面板；校准组件包括驱动件、活动密封件以及定位件，驱动件设置于箱体外，活动密封件密封安装于箱体的侧壁上，定位件位...

本发明公开了一种PECVD用的面板定位机构，其中面板上具有标记点，定位机构包括固定平台、移动平台、底座组件、驱动组件和CCD机器视觉检测系统，固定平台用于支撑面板，设置有与面板上面板标记点对应的第一定位孔；移动平台设置于固定平台的上方并...

本发明公开了一种PECVD使用的视觉镜头调节机构，包括第一安装板，第一安装板的下方设有三轴移动结构，三轴移动结构的侧边连接有可旋转的倾斜调整结构，倾斜调整结构连接有竖直设置的第二安装板，第二安装板的远离倾斜调整结构的侧边设有镜头基板，镜...

本技术公开了一种辊道炉，包括炉体、设置于所述炉体内底部的进气组件，所述进气组件包括沿所述炉体的高度方向设置的至少两层气道，所述进气组件用于预热经所述气道通入所述炉体内的气体；每层所述气道均包括至少两条气道通路，所述气道通路在对应层的平面...

本技术公开了一种半导体沉积设备，包括壳体、安装于所述壳体内的喷淋板和托盘，所述托盘用于承载沉积基体；所述喷淋板将所述壳体内部分隔成相互连通的混合腔室和反应腔室，所述混合腔室的进气口配合设置有扩散体，外源气体经由所述扩散体流入所述混合腔室...

本技术公开了一种柔性载台及承载装置，其中柔性载台包括可拆卸晶圆载盘、柔性载台基座，柔性载台基座设置有若干柔性承载机构以用于承载可拆卸晶圆载盘，可拆卸晶圆载盘包括：具有若干安装孔的环形的转接环；一端安装到安装孔的连接手臂，连接手臂的另一端...

本发明公开了一种工业窑炉，包括炉体和换热器，所述炉体包括沿材料运输方向设置的升温段、恒温段和降温段；所述换热器设置于所述炉体的降温段内，其一端连通至所述炉体的升温段，另一端用于连接外部气源。本发明的工业窑炉提高了工艺气体的加热效率，缩短...

本技术公开了一种液相法碳化硅单晶炉，包括单晶炉的炉体以及炉体支撑架，其特征在于，还包括设置于所述炉体上的并提供超导磁场的超导磁体装置以及磁体升降装置，所述磁体升降装置包括举升架以及设置到举升架的行走机构上的举升臂，所述举升臂支持连接到所...

本技术公开了一种垂直喂料装置，包括料斗和下料机构，所述下料机构设置于所述料斗下方，包括输料管、螺旋输送器、滤芯和负压组件，所述输料管连接于所述料斗，所述螺旋输送器设置于所述输料管内，所述滤芯设置于所述输料管内并包围于所述螺旋输送器外，所...

本技术公开了一种喂料装置，包括料仓和下料机构，所述料仓机构包括搅拌仓，所述搅拌仓内安装有桨叶，且所述搅拌仓外安装有用于驱动所述桨叶转动的搅拌电机，所述搅拌仓的开口处固定有围挡，所述围挡向下延伸至所述搅拌仓内并与所述桨叶之间形成有供物料通...

本发明公开了一种辊道炉，包括炉体、支撑辊组、一个或多个主加热器，以及多个侧加热组件，支撑辊组设置于所述炉体内并用于支撑物料，包括多个两端支撑于炉体侧壁上的导辊；主加热器贯穿整个炉体的宽度设置；侧加热组件设置于炉体两侧壁上，每个侧加热组件...

本发明公开了一种正极材料的二次烧结制备方法、材料、电极及电池，其中制备方法，包括以含锂化合物、磷酸铁和固态的第一碳源，经以无水低级醇为介质的高速球磨后，干燥，得到前驱体；前驱体在惰性气氛中一次煅烧，得到粉末样品；粉末样品在惰性气氛中二次...

本发明公开了一种工业冷却炉，包括炉体、导流板、导辊、循环风扇和多个换热件，所述炉体形成有密闭的冷却腔；所述导流板设置于所述炉体内，并将所述冷却腔分隔成第一区域和第二区域；所述导辊支撑于所述炉体且至少部分设置于第一区域内，所述导辊位于第一...

本技术公开了一种匣钵振动除磁装置，包括除磁组件和振动组件，所述除磁组件包括盖板和固定于所述盖板的磁体；所述振动组件设置于所述盖板下方，包括支撑板、振动器和顶升机构，所述支撑板用于支撑匣钵，所述振动器固定于所述支撑板，其用于振动支撑于所述...

本技术公开了一种辊道窑炉冷却结构，包括壳体，所述壳体上安装有排气主管路，所述壳体上还安装有送风组件，所述排气主管路上安装有第一支管，所述第一支管上安装有第二支管，所述第二支管远离第一支管的一端固定连接有翅片管，所述翅片管贯穿辊道窑炉，所...

本技术公开了一种金属异物检测设备及锂电池生产线，金属异物检测设备包括底架；传动结构，包括旋转安装于底架上的第一传动轮和第二传动轮及绕设于第一传动轮和第二传动轮外部的传送带；金属探测仪，固定安装于底架上，且金属探测仪上设有供传送带及传送带...

本技术公开了一种转台，包括机架、驱动组件和承载组件，机架包括机脚以及支撑于所述机脚上的安装板；驱动组件包括固定于所述机架上的第一动力源，以及连接于所述第一动力源并延伸至所述安装板上方的转轴；承载组件用于承载物料，包括设置于所述安装板上方...