本发明公开了一种基于模态分解与相位回归的Michelson干涉微位移测量方法及装置，属于纳米级位移测量技术领域。所述装置由光学系统和电子系统组成：光学系统用于产生携带位移信息的干涉光场，电子系统则负责对干涉信号进行采集、预处理与数字化。...

本发明涉及单模光纤的耦合对准技术领域，尤其涉及一种基于波前像差与灵敏度矩阵的光纤耦合对准方法及系统。本发明的系统包括光学测量模块、处理与控制模块和多轴精密调整平台，其对准方法是首先通过干涉光路获取并处理干涉条纹图像，利用傅里叶变换与相位...