[问题]本发明提供一种在多个基板间的温度偏差小且在各基板表面的干燥均匀地进行的基板干燥装置。[解决手段]一种基板干燥装置（10），具有：处理槽（20），积存处理液（R）；第一基板保持机构（30），设置在所述处理槽内，能够对使基板面平行地...