本发明公开了一种微型流体致动器，其包括地极板、电极板；电极板包括一电极板基板、N线路层、N绝缘层、一电极层；每一线路层包括至少一条线条状的导电线路；线路层、绝缘层由下到上依次间隔布置；最下层线路层覆盖在电极板基板上，电极层的电极阵列覆盖...

本实用新型公开了一种微型流体致动器，其包括地极板、电极板；电极板包括一电极板基板、N线路层、N绝缘层、一电极层；每一线路层包括至少一线条状的导电线路；线路层、绝缘层由下到上依次间隔布置；最下层线路层覆盖在电极板基板上，电极层的电极阵列覆...