华研精科北京科技有限公司专利技术

华研精科北京科技有限公司共有1项专利

  • 本发明提供了一种多孔轴承气浮转台及减薄机,包括轴承体、旋转体、进气结构及排气结构。其中的上多孔止推轴承、下多孔止推轴承及多孔径向轴承实现了面源供气,从而在相应的位置形成均匀、连续的气膜,提供给旋转体刚度极高的气膜支承,提升转台在高速旋转...
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