多级真空泵，以低发热率而提供一高的极限真空。包括一组串连的罗茨真空泵单元。各级的泵都有分离的壳体。排气管将各对相邻罗茨真空泵单元中的前一级泵单元的出口与后一级泵单元的入口相连，而使泵室相互串连连接。罗茨真空泵单元的叶轮装在分离的主动和被...